[发明专利]具有多个嵌入式电极的基板支撑件有效
| 申请号： | 201880053380.1 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN110998782B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | P·A·克劳斯;T·C·楚;赵在龙 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于在等离子体辅助处理腔室中将基板偏压的区域的方法和设备。将基板(或基板的区域)偏压增加了在基板与处理腔室中形成的等离子体之间的电位差，从而将来自等离子体的离子加速朝向基板区域的活性表面。在本文中的多个偏压电极以有利于管理跨越基板的处理结果的均匀性的图案的方式跨越基板支撑件而空间地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 嵌入式 电极 支撑 | ||
【主权项】：
暂无信息
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