[发明专利]电极膜及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201880053462.6 申请日: 2018-07-31
公开(公告)号: CN111052267B 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 面了明;西川和宏;寺谷和臣;坂田喜博;西村刚;砂走孝邦 申请(专利权)人: NISSHA株式会社
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;B32B3/30;B32B15/02;B32B15/08;B32B17/06;B32B17/12;B32B23/04;B32B23/10;B32B27/06;B32B27/12;B32B27/28;B32B27/30;B32B27/32;B32B27/36
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 纪秀凤
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 提供网格图案的不可视性以及图像的可视性优异的电极膜及其制造方法。电极膜的制造方法具备下面的工序:在透明基材的第一主面上依次层叠金属层、黑色光致抗蚀剂层的工序;对上述黑色光致抗蚀剂层局部曝光、显影从而图案化为网格形状的工序;以图案化的上述黑色光致抗蚀剂层作为蚀刻掩模蚀刻上述金属层直至上述金属层变为相比于构成上述黑色光致抗蚀剂层的网格的细线的宽度小的宽度为止,从而将上述金属层加工为金属网格电极的工序;以及对上述黑色光致抗蚀剂层进行加热并使其软化,通过软化的上述黑色光致抗蚀剂层的垂下,不仅被覆构成上述金属网格电极的网格的细线的上表面,还被覆至构成上述金属网格电极的网格的细线的两侧面的工序。
搜索关键词: 电极 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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