[发明专利]图案曝光方法及图案曝光装置有效
| 申请号： | 201880055472.3 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN111263919B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 杉本重人 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案曝光方法及图案曝光装置，该图案曝光方法中，通过抑制无遮罩曝光的曝光图像数据中平面角部上的边缘误差，以良好的精度形成被微细化的图案。在曝光面上划分光束的最小曝光单位，以最小曝光单位的集合特定曝光图像数据中校正所需要的光束的接通区域，按接通区域内的最小曝光单位累积光束的强度分布，并求出接通区域内的累积强度分布，对累积强度分布与所设定的阈值进行比较而求出在曝光面上连结累积强度分布与阈值一致的点而成的轮廓来作为累积强度轮廓(AIP)，在接通区域的外侧按最小曝光单位设定接通光束的接通单位来校正曝光图像数据，以使被接通区域的外缘和AIP包围的差分面积变小。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 曝光 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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