[发明专利]设计关键性分析扩充的工艺窗合格取样有效
| 申请号： | 201880056906.1 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN111051988B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | J·C·萨拉斯瓦图拉;S·巴纳吉;A·库尔卡尼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供可基于设计图案的关键性以及工艺窗合格PWQ的缺陷属性来选择缺陷的技术。基于工艺条件及设计的类似性来将缺陷分类成数个类别。可对随机缺陷执行基于形状的分组。可将基于设计的最高分组分数赋予储格，接着将所述储格分类。可从所述储格选择特定缺陷。可重检这些缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 设计 关键性 分析 扩充 工艺 合格 取样 | ||
【主权项】：
暂无信息
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