[发明专利]用于沉积或处理碳化合物的微波反应器在审
| 申请号： | 201880057395.5 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN111066120A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 梁奇伟;周杰;阿迪卜·M·汗;高塔姆·皮莎罗蒂;陈冠南;殷正操;斯里尼瓦斯·D·内曼尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于处理工件的等离子体反应器，包括腔室，具有介电窗；工件支撑件，用以在腔室中保持工件；旋转耦合器，包含配置成耦合至微波源的固定台及具有旋转轴的可旋转台；微波天线，并覆盖腔室的介电窗；旋转致动器，用以旋转微波天线；和处理气体分配器，包括环绕工件支撑件的气体分配环。微波天线包括耦合至可旋转台的至少一个导管。气体分配环包括将圆形导管从腔室分开的圆柱形腔室衬垫，及径向延伸穿过衬垫的多个孔，以将导管连接至腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 处理 碳化 微波 反应器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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