[发明专利]量测方法和装置有效
| 申请号： | 201880057786.7 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111065970B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | M·J·J·杰克;M·艾伯特;A·J·登博夫;N·潘迪 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种方法，包括：针对一个或多个测量质量参数，评估与使用图案化过程所处理的衬底的量测目标的测量相关联的多个偏振特性；并且基于测量质量参数中的一个或多个测量质量参数，从多个偏振特性中选择一个或多个偏振特性。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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