[发明专利]用于在小量测目标上对准的拍频图案有效
| 申请号： | 201880057808.X | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111065974B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | B·O·夫艾格金格奥尔;P·C·赫因恩;H·A·J·克瑞姆;A·齐亚托马斯;M·V·梅德韦久瓦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 此处公开了一种形成在衬底上的目标，所述目标包括：对准结构；和量测结构；其中所述对准结构包括被布置成当用源辐射照射所述对准结构时产生拍频图案的结构。有利地，当照射所述目标时，在所述目标的图像中出现的拍频图案允许使用图案识别技术容易地识别出所述目标。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 小量 目标 对准 拍频 图案 | ||
【主权项】：
暂无信息
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