[发明专利]正型抗蚀剂组合物、抗蚀剂膜形成方法及层叠体的制造方法有效
| 申请号： | 201880058649.5 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN111065967B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F212/04;C08F220/22;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 杨卫萍;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种正型抗蚀剂组合物等，该正型抗蚀剂组合物能够以更广范围的、前烘工序中的加热温度和加热时间(更低温侧的范围的加热温度)，提高经由前烘工序形成的抗蚀剂膜与被加工物的密合性，且可以降低前烘工序前后抗蚀剂膜中聚合物分子量的变化。本发明的正型抗蚀剂组合物包含聚合物和溶剂，上述聚合物具有下述通式(I)所示的单体单元(A)和下述通式(II)所示的单体单元(B)，上述溶剂为选自乙酸异戊酯、甲酸正丁酯、甲酸异丁酯、甲酸正戊酯及甲酸异戊酯中的至少1种。 |
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| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂 组合 抗蚀剂膜 形成 方法 层叠 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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