[发明专利]光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法有效
| 申请号： | 201880058704.0 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN111066376B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 池田富彦;乡田哲也;小谷弘一 | 申请（专利权）人： | 凤凰电机公司 |
| 主分类号： | H05B47/165 | 分类号： | H05B47/165;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张黎;龚敏 |
| 地址： | 日本国兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在用于印刷布线基板等的曝光的曝光装置中，具备用于以高精度、短时间且低成本识别成为光源的放电灯是否为正品、以及是新品还是旧品的判定用电路的光源装置。光源装置(100)利用成为光源的放电灯(110)、判定用电路(200)、和安装有放电灯(110)以及判定用电路(200)的反射器容器(151)而构成。并且，判定用电路(200)利用用于检测放电灯(110)是否为正品的RC并联电路(210)、和为了判别放电灯(110)是否为新品而相对于RC并联电路(210)串联连接的熔断器(220)而构成。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 曝光 以及 判定 方法 | ||
【主权项】：
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