[发明专利]描绘数据生成方法、多带电粒子束描绘装置、图案检查装置、以及计算机可读取的记录介质

摘要

根据具有曲线的图形所包含的设计数据来生成能够抑制数据量以及多带电粒子束描绘装置内的计算量的描绘数据。本实施方式涉及生成在多带电粒子束描绘装置中使用的描绘数据的方法。在该方法中，算出表现设计数据所包含的图形的曲线部的曲线、且是分别由多个控制点定义的一对曲线，将上述多个控制点中的与第1控制点在上述曲线的行进方向上相邻的第2控制点的位置用从上述第1控制点起的上述曲线的行进方向的位移以及与该行进方向正交的方向的位移表现，从而生成上述描绘数据。