[发明专利]在MEMS力传感器中的应变传递堆叠有效
| 申请号： | 201880060153.1 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN111448446B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | J·M·蔡;D·本杰明 | 申请（专利权）人： | 触控解决方案股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L1/18;H01L41/053;H01L41/083 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了一种加固型微机电(“MEMS”)力传感器，其包括传感器管芯和应变传递层。MEMS力传感器采用压阻或压电应变计用于应变感测，其中应变通过应变传递层传递，所述应变传递层设置在所述传感器管芯的顶侧或底侧上。在顶侧应变传递层的情况下，MEMS力传感器包括机械锚。在底侧应变传递层的情况下，保护层添加在传感器管芯的顶侧上以用于结合线保护。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 中的 应变 传递 堆叠 | ||
【主权项】：
暂无信息
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