[发明专利]具有进入保护的麦克风中的提升MEMS器件在审
申请号: | 201880060212.5 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN111133768A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | J·J·阿伯斯;B·哈灵顿;桑·博克·李 | 申请(专利权)人: | 美商楼氏电子有限公司 |
主分类号: | H04R1/08 | 分类号: | H04R1/08;H04R19/00;H04R19/04 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王青芝;王小东 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 微机电系统(MEMS)麦克风包括基座、垫片组件、进入保护元件和MEMS器件,所述基座包括延伸穿过所述基座的端口。所述垫片组件设置在所述基座上并且在所述端口上方。所述垫片组件具有形成中空内部腔的多个壁。所述垫片组件还具有上表面和下表面,所述下表面联接至所述基座。所述进入保护元件在所述垫片组件的顶部上方延伸并联接到所述垫片组件的顶部,以封闭所述垫片组件的腔。所述垫片组件在所述基座上方提升所述进入保护元件并且能有效地防止污染物从中通过。所述MEMS器件包括振膜和背板并且设置在所述进入保护元件上方。 | ||
搜索关键词: | 具有 进入 保护 麦克风 中的 提升 mems 器件 | ||
【主权项】:
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