[发明专利]位置检测传感器和位置测量装置在审
申请号: | 201880060532.0 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN111133283A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 宅见宗则;丰田晴义;松井克宜;铃木一隆;中村和浩;内田圭祐 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02;H01L31/12;H01L31/16 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 位置检测传感器包括:受光部,其具有分别包含生成与光的入射光量相应的第1电信号的第1像素和沿第1方向与第1像素排列配置且生成与光的入射光量相应的第2电信号的第2像素并沿第1方向排列的多个像素对;和计算部,其通过使用第1电信号的强度和第2电信号的强度进行重心运算,计算第1方向上的入射位置即第1位置。在第1像素入射位置越接近受光部的与第1方向交叉的第2方向上的一端,第1电信号的强度就越减弱,在第2像素入射位置越接近第2方向上的一端,第2电信号的强度就越增强。计算部还基于对第1电信号的强度进行累计而得到第1累计值和对第2电信号的强度进行累计而得到的第2累计值,计算第2方向上的入射位置即第2位置。 | ||
搜索关键词: | 位置 检测 传感器 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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