[发明专利]教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置有效
| 申请号： | 201880060564.0 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111108368B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 金子康彦 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N23/04;G01N23/18;G06N20/00;G06V10/82;G06V10/764;G06T7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 高颖 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使在用于制作教学数据的缺陷的样品数量少的情况下也能够确保缺陷检查的精度的教学数据制作方法及装置以及缺陷检查方法及装置。教学数据制作方法中，获取包含受光图像的训练用图像，所述受光图像是通过对具有缺陷的被检体照射光线或放射线而得到并且是根据来自所述被检体的反射光或透射光而制作的，对所述训练用图像执行频率分布分析，接收用于指定频带的参数的输入，并且根据由所述参数指定的所述频带，从所述频率分布分析的分析结果选择频带信号，针对与所述频带信号对应的图像获取表示缺陷的缺陷信息，并且根据所述缺陷信息制作在用于检查所述被检体的缺陷的缺陷检查装置的学习中使用的教学数据。 | ||
| 搜索关键词： | 教学 数据 制作方法 装置 以及 缺陷 检查 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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