[发明专利]方解石通道纳米流控技术在审
| 申请号： | 201880060968.X | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN111108440A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 车东奎;穆罕默德·阿勒奥泰比;阿里·阿卜杜拉·阿勒-优素福 | 申请（专利权）人： | 沙特阿拉伯石油公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/075;G03F7/32;G03F7/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李博 |
| 地址： | 沙特阿拉*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于在纳米流体器件中制造方解石通道的方法。在基板上涂覆光致抗蚀剂，之后将光致抗蚀剂的一部分以通道图案曝光于电子束。将光致抗蚀剂的曝光部分显影以形成通道图案，并且使用方解石前体气体将方解石沉积在通道图案中。沉积的方解石包括至少一个具有在大约50至100纳米范围内的长度的侧面。移除在将光致抗蚀剂的曝光部分显影之后留下的光致抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 方解石 通道 纳米 技术 | ||
【主权项】：
暂无信息
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