[发明专利]溅镀用钛靶及其制造方法、以及含钛薄膜的制造方法在审
| 申请号： | 201880060970.7 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111108231A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 村田周平;正能大起 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18;C22C14/00;C22F1/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有平均晶体粒径为1μm以下的重结晶组织的溅镀用钛靶。另外，本发明还提供一种溅镀用钛靶的制造方法，包括以下步骤：对已切割的钛锭进行大应变加工而得到加工板的步骤；以30％以上的压延率对上述加工板进行冷轧而得到压延板的步骤；以及在320℃以下的温度对上述压延板进行热处理的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀用钛靶 及其 制造 方法 以及 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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