[发明专利]带电粒子射线装置、计算机可读记录介质有效
| 申请号： | 201880061280.3 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111542908B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 横须贺俊之;川野源;黑泽浩一;数见秀之;李灿 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/05;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;曹鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带电粒子射线装置、截面形状推定程序，目的在于提供能够简便地推定图形的截面形状的带电粒子射线装置。本发明的带电粒子射线装置对能量辨别器的分别不同的每个辨别条件取得检测信号，将上述每个辨别条件的检测信号与基准图形进行比较，由此推定样本的截面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 射线 装置 计算机 可读 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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