[发明专利]光学装置的安装结构以及曝光装置在审
| 申请号： | 201880062386.5 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111149061A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 米泽良;杉本重人;山崎祥平;町田孝二 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 能够在使光学装置上下移动时防止光轴的抖动。在框体形成有在大致铅垂方向上贯通的圆孔，大致薄板状并且俯视呈大致圆板形状的引导构件(70)以覆盖圆孔的方式设置于所述框体。形成于引导构件(70)的大致中央的安装孔(74)配置为与圆孔大致同心的圆状，筒状部以光轴与所述安装孔(74)的中心大致一致的方式插入安装孔(74)而固定于引导构件(70)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 安装 结构 以及 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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