[发明专利]具有干扰模式的抑制的MEMS设备以及相应的运行方法在审
| 申请号： | 201880062686.3 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN111183112A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | R·诺伊;A·拉斯尔;P·德根费尔德-舍恩堡;N·F·库尔曼;F·沙茨;N·博德;M·屈内尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01C19/5733 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 干扰 模式 抑制 mems 设备 以及 相应 运行 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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