[发明专利]具有补偿透镜的光学系统有效
| 申请号： | 201880063507.8 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111149186B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 张剑;康志文;王義向 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/22;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在带电粒子束检查系统中使用的光学系统。光学系统包括一个或多个光学透镜和补偿透镜，补偿透镜被配置为对一个或多个光学透镜的组合的焦距从第一介质到第二介质的漂移进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 补偿 透镜 光学系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880063507.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：污泥收集器
- 下一篇：用于机械资产的基于云端的监控的测量数据的自动分配
