[发明专利]光调制器

摘要

本发明提供具有能够减小DC漂移的装置结构的光调制器。光调制器(100)具备：基板(1)；波导层(2)，其由在基板(1)上脊状地形成的电光材料膜构成，且包含互相相邻的第一和第二光波导(10a、10b)；RF部(SRF)，其对光波导(10a、10b)施加调制信号；以及DC部(SDC)，其对光波导(10a、10b)施加DC偏置。DC部(SDC)包含：缓冲层(4)，其至少覆盖光波导(10a、10b)的上表面；偏置电极(9a)，其经由缓冲层(4)而与第一光波导(10a)相对；以及偏置电极(9c)，其邻接于偏置电极(9a)而设置，对偏置电极(9a、9c)之间施加DC偏压，至少在偏置电极(9a、9c)之间的下方，设置有波导层(2)的至少一部分被去除了的波导层去除区域(D)。