[发明专利]高压气罐自动更换系统及其方法

摘要

本发明涉及半导体制造工艺（Fabrication Process）设备中为了给晶圆生产线供应气体，将装载（loading）以及卸载（unloading）于柜（cabinet）中的高压气罐自动更换的高压气罐自动更换系统及其方法，在高压气罐提升装置上装载高压气罐后，将高压气罐自动连接到高压气罐连接装置，高压气罐内的气体被消耗到一定量时，从高压气罐连接装置上将高压气罐自动分离卸载。其特征是，包括：可升、降地设置在柜（k）内，并具备高压气罐（10）被放置的圆盘（201）的高压气罐提升装置（200）；将放置于所述高压气罐提升装置（200）的圆盘（201）上的高压气罐（10）夹紧后排列高压气罐（10）位置的高压气罐夹紧装置（300）；从通过所述高压气罐提升装置（200）上升的高压气罐（10）上去除端帽（21）后，将连接器座（41）自动连接到气体喷嘴（23），调节气体流动的高压气罐连接装置（100）；设置在所述柜（k）上控制高压气罐连接装置（100）、高压气罐提升装置（200）、高压气罐夹紧装置（300）的驱动的控制部（400）。