[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201880066479.5 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN111212705B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 宫坂博仁;立野哲平;松冈立马;栗原浩;三国匠 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;孔博 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在维持高研磨速率的同时减少划痕的产生的研磨垫及其制造方法。所述研磨垫是具备研磨层的研磨垫，所述研磨层具有包含大致球状的气泡的聚氨酯片，在将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(90％)，将预先暴露于温度23℃、相对湿度30％环境下的所述聚氨酯片在40℃、初始载荷148g、变形范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的储能模量设为E’(30％)时，E’(90％)/E’(30％)在0.4～0.7的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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