[发明专利]化学品传感器及其形成方法在审

专利信息
申请号: 201880066773.6 申请日: 2018-10-08
公开(公告)号: CN111213050A 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 蔡虹;陶继方;李耀庭;古元冬 申请(专利权)人: 新加坡科技研究局
主分类号: G01N21/3577 分类号: G01N21/3577;G01N21/3504;G01N21/3586
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 薛琦
地址: 新加坡*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 各种实施例涉及一种化学品传感器。化学品传感器可包括基板,基板包括第一密封(或隔离)腔以及与第一密封(或隔离)腔分开的第二密封(或隔离)腔。化学品传感器也可包括在第一密封(或隔离)腔中的发射器,发射器配置为发射红外光。化学品传感器还可包括在第二密封(或隔离)腔中的检测器。化学品传感器也可包括波导,波导配置为将红外光从发射器输送到检测器。波导可包括传感部分,传感部分配置为使通过传感部分输送的红外光的特性响应于与传感部分接触的化学实体而改变。检测器可配置为检测(红外光的)特性上的改变。
搜索关键词: 化学品 传感器 及其 形成 方法
【主权项】:
暂无信息
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