[发明专利]加工装置及移动体的制造方法在审
| 申请号： | 201880069008.X | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN111246963A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 白石雅之;立崎阳介 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B23K26/142 | 分类号： | B23K26/142 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡林岭 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及间隔壁构件(132)，包围包含使加工光通过的光照射装置的光学系统(112)中位于最靠物体侧的光学构件(1123)与物体的表面之间的光路的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 移动 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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