[发明专利]用于延长激光室中电极寿命的方法和装置在审
| 申请号： | 201880069267.2 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN111279562A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | T·P·达菲;P·C·梅尔彻;W·D·吉莱斯皮 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/225 | 分类号： | H01S3/225;H01S3/09;H01S3/097 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了用于延长激光放电室的使用寿命的方法和装置，在该激光放电室中，定位在放电室内固定位置处的电极的极性相对于限定与第一电极的放电间隙的第二电极的极性为正，并且第一电极由当使用第一电极作为阳极时形成抗腐蚀表面的材料制成。本文还公开了一种布置，其中第一电极相对于第二电极可定位，第一电极限定与第二电极的放电间隙，并且第一电极的位置被控制为将间隙的宽度维持在预定范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 延长 激光 电极 寿命 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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