[发明专利]含硅氧烷添加剂的组合物在处理50nm或更小尺寸的图案化材料时的用途有效
| 申请号： | 201880070358.8 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111279271B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | D·勒夫勒;M·C·沈;S·H·魏;F·皮龙;L·恩格布莱希特;Y·伯克;A·克里普;M·布里尔;S·奇霍尼 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;C11D1/66;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及包含有机溶剂和至少一种特定硅氧烷型添加剂的非水性组合物用于处理包含具有50nm或更小的线性空间尺寸及4或大于4的纵横比的图案的基板的用途，以及一种用于制造集成电路器件、光学器件、微机械和机械精密器件的方法，所述方法包括以下步骤：(1)提供具有图案化材料层的基板，所述层具有50nm的线性空间尺寸、大于或等于4的纵横比或其组合，(2)使基板与非水性组合物接触至少一次，和(3)自与基板的接触中移除非水性组合物，其中所述非水性组合物包含有机溶剂及所述硅氧烷型添加剂中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 含硅氧烷 添加剂 组合 处理 50 nm 尺寸 图案 材料 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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