[发明专利]量测术中的数据估计在审
| 申请号： | 201880071282.0 | 申请日： | 2018-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN111316169A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | A·奥纳斯;S·I·马萨瓦特;T·希尤维斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 闫红 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于估计多个数据集中的至少一个数据集的未知值的方法和设备，每个数据集包括指示由制作于衬底中或衬底上的一个或更多个特征衍射和/或反射和/或散射的辐射的多个值，其中所述多个数据集包括至少一个已知值，和其中所述多个数据集中的至少一个数据集包括未知值，所述设备包括处理器，所述处理器基于以下估计所述至少一个数据集的所述未知值：所述多个数据集的多个已知值；所述多个数据集的一数据集内的两个或更多个值之间的第一条件；和作为所述多个数据集的不同数据集的部分的两个或更多个值之间的第二条件。 | ||
| 搜索关键词： | 量测术 中的 数据 估计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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