[发明专利]多端口流体输送系统中的堵塞检测有效
| 申请号： | 201880071755.7 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN111315533B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | R·C·南古伊;C·波拉德;A·L·德阿姆巴拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/00;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例提供了用于在CMP工艺期间检测在流体输送系统中的堵塞的设备以及在CMP工艺期间检测在流体输送系统中的堵塞的方法。具体而言，本文的实施例提供了一种分流器歧管，其经配置以实现监测设置在其中的抛光流体的压力。监测在分流器歧管中的流体压力实现检测在输送线和/或分配喷嘴中的堵塞，堵塞抑制和/或阻止通过其或从其的抛光流体流动。 | ||
| 搜索关键词： | 多端 流体 输送 系统 中的 堵塞 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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