[发明专利]流量控制装置在审
| 申请号： | 201880071834.8 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111406243A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 杉田胜幸;土肥亮介;平田薰;川田幸司;池田信一;西野功二 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士金 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量控制装置(100)，具备：压力控制阀(6)，其设置于流路；流量控制阀(8)，其设置在压力控制阀的下游侧；以及第一压力传感器(3)，其对压力控制阀的下游侧且流量控制阀的上游侧的压力进行测定，流量控制阀具有：离接于阀座(12)的阀体(13)；用于使阀体移动以使阀体离接于阀座的压电元件(10b)；以及设置于压电元件的侧面的应变传感器(20)，其构成为基于从第一压力传感器(3)输出的信号控制压力控制阀(6)，基于从应变传感器(20)输出的信号控制流量控制阀(8)的压电元件的驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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