[发明专利]感光性树脂层叠体及抗蚀图案的制造方法在审
| 申请号： | 201880072368.5 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN111316164A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 井上浩辅;国松真一;小谷雄三 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/029;G03F7/09;G03F7/20;G03F7/40;G03F7/42;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种感光性树脂层叠体，其具备支承薄膜和含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子，且所述支承薄膜可从所述感光性树脂组合物层剥离，将所述感光性树脂组合物层的总质量设为100质量％时，所述感光性树脂组合物层中所含的水分量为0.1质量％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 层叠 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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