[发明专利]陶瓷、探针引导构件、探针卡及封装检查用插座在审

专利信息
申请号: 201880072516.3 申请日: 2018-11-07
公开(公告)号: CN111315709A 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 山岸航;森一政;卫藤俊一 申请(专利权)人: 飞罗得材料技术股份有限公司
主分类号: C04B35/488 分类号: C04B35/488;C04B35/589;G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种陶瓷,其以质量%计含有:Si3N4:20.0~60.0%;ZrO2:25.0~70.0%;以及,选自MgO、Y2O3、CeO2、CaO、HfO2、TiO2、Al2O3、SiO2、MoO3、CrO、CoO、ZnO、Ga2O3、Ta2O5、NiO和V2O5中的1种以上:5.0~15.0%。该陶瓷具有与硅同等程度的热膨胀系数和优异的机械强度,且能够高精度地实现精细加工,并且能够抑制微粒产生。
搜索关键词: 陶瓷 探针 引导 构件 封装 检查 插座
【主权项】:
暂无信息
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