[发明专利]多图案化的溅射捕集器及制造方法有效
| 申请号： | 201880073114.5 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN111328351B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·L·科赫;雅各布·C·鲁茨卡 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁;刘茜 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射室颗粒捕集器，所述溅射室颗粒捕集器包括在所述颗粒捕集器的表面的至少一部分上形成的第一图案和第二图案。所述第一图案包括以下项中的一者：具有第一深度并且被第一线和第二线隔开的第一凹痕，以及具有第一高度并且被第一凹槽和第二凹槽隔开的第一脊。所述第二图案在所述第一图案的至少一部分上形成，并且包括以下项中的一者：具有第二深度并且被第三线和第四线隔开的第二凹痕，以及具有第二高度并且被第三凹槽和第四凹槽隔开的第二脊。还公开了一种在溅射室部件上形成颗粒捕集器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 溅射 捕集器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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