[发明专利]对真空等离子体处理的RF功率递送有效
| 申请号： | 201880074118.5 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111316396B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | S.莱纳;M.布莱斯 | 申请（专利权）人： | 瑞士艾发科技 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;陈岚 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | RF功率被供应于真空处理模块（lo），这是因为在等离子体处理模块（lo）中，由等离子体处理模块（lo）中的阻抗变换网络（IT）来实行时不变阻抗变换，并且由连接到阻抗变换网络（IT）的匹配盒来实行时变匹配。该阻抗变换网络（IT）包括中空导体的电感性元件（L）。冷却介质（Fl）流经阻抗变换网络的中空导体，以及流经等离子体处理模块（lo）的一部分，该部分要被冷却并且不是等离子体处理模块（lo）处的阻抗变换网络（IT）的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 等离子体 处理 rf 功率 递送 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞士艾发科技，未经瑞士艾发科技许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880074118.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空系统管道联接件
- 下一篇：用于显示面板的补偿技术
