[发明专利]制造离子迁移过滤器的方法有效
| 申请号： | 201880074144.8 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111433597B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | M·奥斯沃斯;丹尼尔·梅尔赫斯特;马修·哈特 | 申请（专利权）人： | 奥斯通医疗有限公司;奥斯通有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/624 | 分类号： | G01N27/624;H01J49/00;H01J49/06;H01L21/78 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 景怀宇 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了制造离子迁移过滤器的方法。所公开的技术涉及制造MEMS气体传感器的方法，例如制造可以用作场非对称离子迁移谱过滤器的离子迁移过滤器的方法。所述制造用于光谱系统的离子过滤器的方法包括：提供导电材料的片材并且在所述片材上限定多个离子过滤器。限定所述多个离子过滤器是通过以下步骤获得的：为所述片材上的每一个离子过滤器形成电极层(22)，其中每一个电极层包括：至少一个离子通道(28)和包围所述至少一个离子通道(28)的隔离通道(30)。在每一个电极层上还形成支撑层(24)。每一个支撑层(24)包括孔(25)，该孔(25)至少部分地与所述至少一个离子通道(28)对准。然后将离子过滤器分离。通过利用隔离通道(30)包围所述至少一个离子通道(28)，降低了在分离所述离子过滤器时污染物进入到至少一个离子通道(28)的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 离子 迁移 过滤器 方法 | ||
【主权项】：
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