[发明专利]组件的光诱致选择性转移有效
| 申请号： | 201880074843.2 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111373848B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 加里·阿鲁季诺夫;罗纳德·斯托特;艾德斯格尔·康斯坦·彼得·斯米茨 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用科学研究会(TNO) |
| 主分类号： | H05K1/18 | 分类号： | H05K1/18;H01L21/683;H01L25/075;H01L33/60 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘凤迪 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于组件的光诱致选择性转移的方法和设备。一施体基板(10)具有多个组件(11，12)，该组件被分成不同的子集并根据各自布局(A，B)来被布置。一目标基板(20)包括凹槽(21)和突起(25)。该施体和目标基板(10，20)被对位，使得一第一组件(11)子集被悬挂在该目标基板(20)中对应的凹槽(21)之上而且一第二组件(12)子集与该目标基板(20)之对应的突起(25)接触。光(L)被投射到该施体基板(10)之上以把该第一组件(11)子集转移进入到该对应的凹槽(21)中，同时该第二组件(12)子集保持附接在该施体基板(10)上。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 诱致 选择性 转移 | ||
【主权项】：
暂无信息
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