[发明专利]磁传感器的制造方法及磁传感器集合体在审
| 申请号： | 201880076450.5 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111406221A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 远藤大三 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;G01R33/09;G01R33/389;H01L43/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 磁传感器1的制造方法包括下述工序：硬磁体层形成工序，在圆盘状的非磁性基板10上形成将被加工成薄膜磁铁20的硬磁体层103；软磁体层形成工序，在基板1O上的硬磁体层103上层叠形成软磁体层105，所述软磁体层105将被加工成对磁场进行感应的感应元件；和硬磁体层充磁工序，沿圆盘状的基板10的圆周方向对硬磁体层103进行充磁。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 制造 方法 集合体 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工株式会社，未经昭和电工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880076450.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：亚微米级乳液
- 下一篇：施放器、盒体及施放套件
