[发明专利]缺陷测定装置、缺陷测定方法以及检查探头在审
| 申请号： | 201880077200.3 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111417851A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 多田丰和;末次秀彦 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/82 | 分类号： | G01N27/82 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 齐秀凤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 检查探头(100)具备：磁轭(1)、磁铁(2)以及对在磁性体管(P)所形成的磁路中流过的磁通密度进行检测的霍尔元件(3)，磁轭(1)的第2外周面(12a)位于比第1外周面(11a)更靠磁性体管(P)侧的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 测定 装置 方法 以及 检查 探头 | ||
【主权项】：
暂无信息
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