[发明专利]用于输送基板载体的真空锁和方法在审
| 申请号： | 201880077671.4 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111433389A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 伯恩哈德·科德;迈克尔·赖斯;迪特尔·谢尔格 | 申请（专利权）人： | 新格拉斯科技集团 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 德国美茵*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于真空涂布设备的真空锁(10)包括：腔室(30)，用于接纳基板载体(20)，其中腔室(30)包括第一内表面(31)和第二内表面(32)。输送机(40)被配置为用于输送基板载体(20)。真空锁(10)包括流动通道组件(51、52、56、57)，用于使腔室(30)抽空和排气，流动通道组件(51、52、56、57)被配置为既在第一内表面(31)与面向第一内表面(31)的第一基板载体表面(21)之间并也在第二内表面(32)与面向第二内表面(32)的第二基板载体表面(22)之间引起气体流动。基板载体(20)可定位在第一内表面(31)与第二内表面(32)之间，使得第一内表面(31)与第一基板载体表面(21)之间的第一距离和基板载体(20)的长度(L)的比率小于0.1，并且第二内表面(32)与第二基板载体表面(22)之间的第二距离和基板载体(20)的长度(L)的比率小于0.1。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 输送 载体 真空 方法 | ||
【主权项】：
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