[发明专利]用于传感器的应力隔离框架在审
| 申请号： | 201880078214.7 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111433563A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 多鲁克·森卡尔;林阳;霍里·乔哈里-加勒;约瑟夫·西格 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | G01C19/5783 | 分类号： | G01C19/5783;B81B7/00;G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 李薇;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的设备，包括：一个或更多个用于附接到基底的锚定点；刚性框架结构，其被配置为至少部分地支撑传感器；和在每个锚定点和刚性框架结构之间的柔顺元件。还公开了一种用于支撑微机电(MEMS)传感器的设备，该设备包括用于附接到基底的四个锚定点；刚性框架结构，其被配置为支撑MEMS传感器；和在每个锚定点和刚性框架结构之间的蟹脚型悬挂元件，其中蟹脚型悬挂元件是柔顺的。还提供了一种用于降低传感器的封装应力灵敏度的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传感器 应力 隔离 框架 | ||
【主权项】：
暂无信息
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