[发明专利]与成像和激光测量结合的检查在审
| 申请号： | 201880080026.8 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111511270A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 伊万·W·席;杨威;于尔根·波普 | 申请（专利权）人： | 光学技术注册协会莱布尼兹研究所 |
| 主分类号： | A61B5/00 | 分类号： | A61B5/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;张会娟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于检查样品(2)的设备(100)，包括用于获得样品(2)的概览图像(21)的成像装置(1)、用于使用从孔眼(31)射出的激光束(32)来局部询问样品(2)的至少一个特性(22)的测量仪器(3)，还包括用于确定样品(2)上当前通过激光束(32)询问的位置(23)的跟踪装置(4)以及存储器(6)，在存储器中通过激光束(32)询问的特性(22)与样品(2)上确定的位置(23)相关联，其中跟踪装置(4)被体现为通过评估在过程中从概览图像(21)产生的激光点(32a)来确定激光束(32)照到样品(2)的位置(23)和/或通过测量孔眼(31)的位置(31a)和取向(31b)来确定该位置(23)。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 激光 测量 结合 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光学技术注册协会莱布尼兹研究所，未经光学技术注册协会莱布尼兹研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880080026.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
