[发明专利]真空容器中的碎屑通量测量系统的再生在审
| 申请号： | 201880080455.5 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111480071A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 马悦;N·V·德兹奥姆卡纳;J·T·斯特瓦特四世;李天启 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;G01N21/15 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种装置包括：容器；将目标引向容器中的交互区域的目标传递系统，该目标包括在处于等离子体状态时发射极紫外光的目标物质；以及量测装置。量测装置包括具有被配置为测量目标物质的通量的测量表面的测量系统和被配置为再生测量系统的再生工具。再生包括：防止测量表面变为饱和，和/或如果测量表面已经变为饱和，则使测量表面去饱和。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 容器 中的 碎屑 通量 测量 系统 再生 | ||
【主权项】：
暂无信息
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