[发明专利]照明光学系统、曝光装置和物品制造方法有效
| 申请号： | 201880080933.2 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN111480121B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 河野道生 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 马景辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 照明光学系统被配置为包括：第一光调制单元，包括多个光调制元件；第二光调制单元，包括多个光调制元件；以及成像光学系统，使用来自第一光调制单元和第二光调制单元的光在预定平面上形成光学像。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 曝光 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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