[发明专利]供等离子体浸没枪(PFG)操作的使用含氟和惰性气体的方法和组件在审
| 申请号： | 201880081071.5 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111492458A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | J·R·德普雷;J·D·斯威尼;S·N·耶德卫;唐瀛 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08;H01J3/04;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述一种用于将包括惰性气体和含氟气体的气体递送至等离子体浸没枪的气体供应组件，其中所述组件被配置成将体积不超过所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的10％的所述含氟气体递送至所述浸没枪。所述含氟气体可自所述等离子体浸没枪中的材料沉积物产生挥发性反应产物气体，且从而引起所述等离子体浸没枪中等离子体生成细丝的再金属化。与所述气体量组合，所述组件和所述方法可使用气体流动速率以使清理效果优化且减少使用期间细丝材料自所述等离子体浸没枪的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 浸没 pfg 操作 使用 惰性气体 方法 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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