[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201880081160.X | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111480294B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 井上和则 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H01L23/04;H03H9/145 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 韩聪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在支承部(40)以及覆盖部(50)，形成从覆盖部(50)中的与支承部(40)相反侧的上表面(51)贯通到支承部(40)中的基板(10)侧的下表面(41)的贯通孔(80)。贯通孔(80)在俯视观察下与布线(30)的一部分重叠。弹性波装置(100)进一步具备：电极膜(60)，其在贯通孔(80)内与布线(30)电连接；以及保护层(70)，其由绝缘材料形成，并覆盖电极膜(60)的一部分。保护层(70)在贯通孔(80)内与覆盖部(50)以及支承部(40)连接。保护层(70)与覆盖部(50)以及支承部(40)的热膨胀系数差小于保护层(70)与电极膜(60)的热膨胀系数差。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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