[发明专利]薄膜制造装置及使用神经网络的薄膜制造装置

摘要

提供一种能够形成均匀性高的薄膜的薄膜制造装置。提供一种能够控制薄膜形成中的各种设定条件的薄膜制造装置。在包括处理室、气体供应单元、排气单元、电力供应单元、运算部及控制装置的薄膜制造装置中，气体供应单元对处理室内供应气体，排气单元调整处理室内的压力，电力供应单元对设置在处理室内的电极间施加电压，运算部具有在薄膜形成中使用神经网络进行异常状态的检测及推论的功能，控制装置在薄膜形成中根据检测及推论的结果控制各种设定条件。