[发明专利]成膜方法有效
| 申请号： | 201880081409.7 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111491746B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 长谷川昌孝;金沢勇人 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D3/00;B05D3/02;B05D3/06;B05D3/10;B05D3/12;C23C14/22;C23C24/04;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张志楠;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种在通过气溶胶沉积法进行的成膜中，能够进行高精度地图案化的成膜的成膜方法。通过将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向基材供给气溶胶，将成膜材料成膜于基材上时，基材在被成膜面上具有相对于原料液为疏液性的疏液区域及相对于原料液为亲液性的亲液区域，将疏液区域的宽度设为L，将气溶胶的直径设为D时，满足“D≥L/2”来解决课题。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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