[发明专利]具有位于第一和第二衬底上的碳纳米管传感器的传感器装置在审
| 申请号： | 201880081575.7 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111479770A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | N·S·萨弗隆;M·W·迈耶 | 申请（专利权）人： | 热电科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B82Y15/00 | 分类号： | B82Y15/00;G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈洁;周全 |
| 地址： | 美国威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种感测装置包含：第一衬底，其具有多个贯穿其中的TSV；以及第二衬底，其位于邻近所述第一衬底，其中所述TSV电连接到所述第二衬底。至少一个碳纳米管传感器位于所述第一衬底上。多个接触垫中的每个位于所述第一衬底上并位于一个所述碳纳米管传感器上，使得每个接触垫电连接到一个所述TSV和一个所述碳纳米管传感器，并使得所述一个碳纳米管传感器的一个端部嵌入所述接触垫中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 位于 第一 第二 衬底 纳米 传感器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于热电科学仪器有限公司，未经热电科学仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880081575.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
