[发明专利]再装填管、原料供给装置、单晶提拉装置、再装填管的使用方法、再装填方法及单晶提拉方法有效
申请号: | 201880081647.8 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN111465723B | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 饭田哲广;沟上信明;岩本孝 | 申请(专利权)人: | 胜高股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02;C30B15/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李婷;陈浩然 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种再装填管,其为原料供给装置中的圆筒状再装填管(10),所述原料供给装置使用于基于切克劳斯基法的单晶的培育,并将颗粒状固体原料(S1)追加装填或再装填于坩埚(3)内的原料熔液(S2)中,所述圆筒状再装填管(10)具有:多个分割管(10A)、(10B),当填充固体原料时,在轴向上被分割;及连结部(11),当将固体原料投入到坩埚中时,将分割管上下连结,并且,实现防止再装填管的寿命减少和减少位错化的产生。 | ||
搜索关键词: | 装填 原料 供给 装置 单晶提拉 使用方法 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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