[发明专利]感光性树脂层叠体在审
| 申请号： | 201880081747.0 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111492309A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 宫崎纯 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/004;G03F7/027;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供一种避免发生抗蚀剂突起，赋予良好的抗蚀图案形状且能够以良好的生产率获得的感光性树脂层叠体。在一方式中，提供一种感光性树脂层叠体，其为具备支承薄膜和形成于该支承薄膜上的感光性树脂组合物层的感光性树脂层叠体，其中，该支承薄膜包含微粒，包含通过落射型激光显微镜以13.5mm |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 层叠 | ||
【主权项】：
暂无信息
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